技术编号：10481964
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。氮化铝电子陶瓷是一种新型功能陶瓷材料，具有良好的热传导性能、可靠的电绝缘性、低的介电损耗和介电常数，可以应用的是通过流延法加工为大规模的集成电路基片，还可做为高级耐火材料和光学器件、耐磨器件。目前市场上集成电路的基片主要有氧化铝陶瓷(Al2O3)、立方氮化硼(BN)、氧化铍(BeO)。氧化铝陶瓷的优点在于介电损耗低、机械强度高、化学稳定性好等特点。但是，氧化铝陶瓷的低热导率限制了半导体元件向高密度、高性能方向的发展。立方氮化硼(BN)作为高热导材料用作半导...
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