技术编号：10510594
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。以ITO半导体为喷涂原料的透明导电薄膜是液晶显示面板、触控面板和OLED面板的重要功能单元，其制造工艺较为复杂，需在高度净化的厂房环境中，利用平面磁控技术，在超薄玻璃上溅射纳米铟锡金属氧化物导电薄膜镀层并经高温退火处理才能得到，而后还要经过ITO蚀刻、金属溅镀、金属蚀刻、Si02溅镀、正面钝化层涂布、镭射切割、超声波清洗、开短路检测、外观检验、覆膜等一系列制程才能得到成品的面板。其中，开短路检测工序是衡量成品面板内部ITO图案是否良好、ITO走线阻抗是否正...
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