技术编号:10547438
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本文描述的是挥发性的且热稳定的氨基烷氧基硅烷,更具体是双氨基烷氧基硅 烷,以及使用其沉积化学计量或非化学计量的含硅膜的方法,所述含硅膜例如,但不限于氧 化硅膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜、碳氧化硅膜和碳氮氧化硅膜。 美国专利第4,491,669号公开了纯的对应于下述通式的混合烷氧基氨基硅烷的制 备RmSi (Of )n(NR〃)P,其中R为氢、短链烷基或烯基或者芳基;R〃和独立地为氢、短 链烷基或者芳基,其中至少一个不是氢;V为短链烷基或者芳基;且m、n和p是...
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