一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法技术资料下载

技术编号:10550302

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在一些场合工作环境复杂,造就了相应的微振动环境,而运些微振动是影响设备 加工或工作精度的关键性因素。被动隔振器由质量-弹黃-阻尼元件构成,由于其在低频振 动传递率与高频振动衰减率之间存在的固有矛盾,无法满足精密微振动的隔振需求;相对 于被动隔振机构,主动隔振对系统的性能有了重大改善,但其需要传感器-执行器对,W及 相应的主动控制系统,运就要求主动隔振在负载和功耗上必须可靠。 就结构而言,目前主流的微振动隔离或抑制设备均采用被动隔振元件和主动执行 器使用一...
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