有机薄膜晶体管制备方法及设备的制造方法技术资料下载

技术编号:10571586

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溶液法薄膜晶体管由于具有低成本、可低温制备、易于柔性和大面积集成等优点取得了广泛的关注,其在传感单元、射频标志识别标签、电子纸显示背板、医疗卫生等领域已经取得了实际应用。随着人们对于电子产品低成本和便携性不断增长的要求,溶液法薄膜晶体管的发展势必会得到更大的推动和重视。基于有机薄膜晶体管(OTFT)的柔性显示驱动基板目前仍处于开发阶段,OTFT中的有机导电沟道层(有机半导体层,即0SC)的图案化通常使用“曝光-显影-刻蚀”的工艺,或者使用直接的“掩膜-蒸镀...
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