彩色共焦点传感器和测量方法技术资料下载

技术编号:10577047

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传统上,已使用彩色共焦点技术来测量被测物体的高度等。例如,日本特开2011-39026(以下称为专利文献I)公开了如图1所示的彩色共焦点位移计(以下称为彩色传感器)。在该彩色传感器中,将聚焦于工件的颜色与工件的高度(位移)相应地一对一地改变。通过提取将聚焦于工件的颜色的光并且指定该颜色(光波长),来测量与该颜色处于一对一关系的工件的高度(专利文献I的说明书中的第段、第段等)。在专利文献I所公开的彩色传感器中,使用在通过由双折射晶体等构成的波板的相互垂直的偏...
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