技术编号:10607897
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。真空磁控溅射镀膜设备是玻璃加工中非常重要的设备。如图1所示,目前的真空磁控溅射镀膜设备包括依次连接的上片架1、前清洗机2、进片过渡架3、进片粗抽室4、进片预抽室5、进片过渡室6、进片缓冲室7、镀膜室8、出片缓冲室9、出片过渡室10、出片预抽室11、 出片粗抽室12、出片过渡架13、底漆淋漆段14、底漆烘烤箱15、面漆淋漆段16、面漆烘烤箱 17、面漆风干段18、后清洗机19、纠偏架20和下片架21。这设备虽可进行玻璃加工,但其存在以下缺陷(1)目前的真空磁...
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