技术编号：10663012
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着使用有机EL元件的产品的大型化或基板尺寸的大型化，对蒸镀掩模也不断增加大型化的需求。而且，用于制造由金属构成的蒸镀掩模的金属板也大型化。但是，在现有的金属加工技术中，难以在大型的金属板高精度地形成开口部，不能够应对开口部的高精细化。另外，在形成为仅由金属构成的蒸镀掩模时，随着大型化，其质量也增大，包含框架在内的总质量也增大，故而会给操作带来阻碍。在这样的状况下，在专利文献I中提出有如下的蒸镀掩模，该蒸镀掩模将设有缝隙的金属掩模、和位于金属掩模的表面且将...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。