一种微小材料拉伸方法、装置及系统的制作方法技术资料下载

技术编号:10665480

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近年来,由于半导体线宽的限制,人们将未来半导体业界的新一代技术革命的希望寄托在了尺寸在100纳米以下的纳米材料上,包括以一维纳米线、纳米管、纳米棒;二维纳米薄膜、纳米环;三维纳米(中空)球等各式材料。由于纳米材料的尺寸极其微小,在以他们为基本单元的纳米器件中,这些微小的材料不可避免的会受到外界环境及各种外场的影响,包括力场、热场、磁场和电场等等。因此,针对此类微小个体的各种性能的测试就显得尤为重要,因为这将决定器件的可靠性和稳定性。在纳米材料诸多优异性能中...
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