物理量传感器、电子设备以及移动体的制作方法技术资料下载

技术编号:10675339

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例如,在专利文献I中,公开了一种将IC芯片、角速度检测元件、加速度检测元件重叠地收纳在封装件内所形成的复合传感器。然而,在像这样的结构中,存在有如下问题,即,角速度检测元件的驱动信号作为噪声而混入加速度检测元件的检测信号中,或者向IC芯片输入输出的数字信号作为噪声而混入加速度检测元件的检测信号中,从而导致检测精度降低的问题。专利文献1日本特开2008-76264号公报。发明内容本发明的目的在于提供一种能够降低噪声的产生而发挥卓越的检测精度的物理量传感器、电...
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