技术编号：10721285
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。多轴精密位移台在超精密加工设备和超精密测量仪器中得到了广泛的应用，并且作为这些装备的核心部件，直接影响着超精密加工和测量的精度。例如，在半导体工业的核心生产设备光刻机中，超精密工件台被用于承载基片并完成装片、曝光、换台、卸片过程中的高速超精密运动。超精密工件台的运动精度直接决定着所加工的半导体芯片的加工精度，进而对半导体芯片的质量和性能有很大的影响。此外，在共焦显微镜等扫描成像式显微镜中，多轴精密位移台往往被用于承载待测样品并完成扫描运动。多轴精密位移台的...
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