技术编号：10761648
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在OLED显示面板的制造过程中，需要在玻璃基板上进行有机膜层的真空蒸镀，该工作步骤需要在真空蒸镀机内来完成。真空蒸镀机内包括可以运送玻璃基板的传送室、与传送室连通的过渡室及与过渡室连通且用于进行真空蒸镀工艺的若干工艺腔以及将玻璃基板从传送腔及过渡室运送至工艺腔的运送臂。玻璃基板在工艺腔内进行真空蒸镀的过程中，可能受到掩模板下表面凸起的刮擦而使玻璃基板发生缺损的情况。当玻璃基板返回过渡室后，玻璃基板可能会发生破裂而使一些玻璃碎片残留于运送臂上，该残留的玻璃碎...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。