技术编号：10764110
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，公知的真空栗是一种旋转式变容真空栗须有前级栗配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速对被抽除气体中含有灰尘和水蒸气不敏感广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业，具有便捷，使用灵活的特点。像在光电或半导体领域中，因为制程的需求，如蚀刻、气相沉积等，往往需要将产品容置在真空的环境下以进行生产作业，为此，会需要真空栗进行气体吸除排放作业，来产生制程所需的环境;真空栗的气体吸除排放作业，可将一腔室中的气体排出腔室，进而改变所述腔室的气压，甚至让所述腔室接...
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