技术编号：10770518
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有FOUP只是一个单纯的存放晶圆的装置，不具有其它附加功能，如不能直接反应FOUP里存放晶圆的片数及状态，不能及时侦测晶圆的残损，不能与机台进行通信，不能设置质检时间等制程参数，不具有报警功能;且现有F0UP，对于FOUP的编号采用打印于FOUP的背面来实现，对于存储的晶圆的相关信息采用留言单置于FOUP外面的塑料袋来实现，其缺陷是打印信息容易磨损丢失，留言单也容易遗失。实用新型内容本实用新型目的是提供一种智能F0UP，解决现有技术中存在的上述问题。本实...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。