技术编号：10813952
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前液体静压导轨广泛应用于超精密机床中，液体静压导轨设置有多个油腔，每个油腔配备一个节流器;精密液压伺服系统提供一定压力的油液经过毛细管后分别进入对应的油腔，滑台和导轨间形成油膜使滑台浮起，保证导轨面间处于液体润滑状态；当滑台收到变载荷或供油压力发生突变时，毛细管节流器起到压力补偿作用，自动调节各油腔压力以适应外载荷及供油压力的变化，使油膜具有相对稳定的压力及高的刚度。影响超精密加工的因素很多，因此需要对其中的各个重要参数进行在线测量。超精密静压导轨各个油...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。