技术编号:10884735
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。匀胶机是半导体芯片制造工艺中非常重要的设备,匀胶机有许多常用名称,如涂胶机、甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂布机等,其可应用于溶胶凝胶试验中的薄膜制作,工作原理为高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上。目前,普通的匀胶机可以满足大多数胶液的旋涂作业,但有些特殊的胶液需要在一定的温度范围内才能实现良好的成膜效果,并且有使用者需要在匀胶的过程中实现烤胶作业;所以需要一种能在加热的状态下进行匀胶的设备;如今市面上有内嵌式加热(如中国专利...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。