一种低功耗浸入型热式气体流量测量装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10953269

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热式气体流量测量是一种新型的气体流量测量方法,根据气体热传导原理,流经热式传感器表面的气体会带走传感器的部分热量,通过气体流量与热式传感器之间热交换的关系即可测得气体流量。热式气体流量计测量精度高,量程宽,灵敏性好,同时因为无可动部件,对气体流场的影响小,压力损失低,使用寿命长,因此逐渐被应用于石油化工,半导体加工,航空航天等领域。目前,热式气体流量计按结构分可分为分布型结构和浸入型结构两种。分布型热式流量计由两个温度传感器和一个加热器组成,一般被置于管道...
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