技术编号:10958217
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。微型薄膜加热器在很多领域具有应用,如热相关气体传感器和红外光源,随着MEMS制备技术的成熟和设备工艺的发展,在玻璃上制备MEMS器件也成为可行的路径,对于微型薄膜加热器,目前常用的方法是直接在玻璃基板表面制作电阻丝,但此种结构热耗散现象比较严重,功耗较高。实用新型内容(一)要解决的技术问题本实用新型要解决的技术问题是提供一种加热器、传感器及智能终端,可以降低加热器功耗。(二)技术方案为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案提供了一种加热器,包括衬底基板以及...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。