一种多边圆形镀膜设备腔体的制作方法技术资料下载

技术编号:10984542

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目前,镀膜技术一般分为干式镀膜与湿式镀膜两种方法。干式镀膜主要利用气相沉积的方法,包括真空蒸镀,真空溅镀等。湿式镀膜主要利用液相沉积的方法,是指将待镀的基板置于电解质溶液中,通过电镀法或化学镀法,使其表面形成膜层。其中,湿式镀膜制程具有制程设备简单、便宜、沉积速率快、易控制沉积厚度、制程温度低、不受限于形状复杂之基板、适用于多样性材料、更可在软性基材上镀膜等优点。但是现有镀膜设备腔体多为圆形结构,空间大,使用效率低,空间大,抽空时间长。实用新型内容本实用新...

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