技术编号:10988128
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着晶体硅太阳能电池制作技术的日益发展与成熟,在保证现有电池产品光电转换效率及质量的基础上如何有效降低制造成本、提高自身产品市场竞争力已成为光伏界各电池生产厂家决策者所普遍关注和急需解决的一个世纪问题。扩散炉是大规模集成电路制造过程中用于对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种加工装置。在对硅片进行加工时,硅片一般是放置在硅舟中,硅舟放置于扩散炉内,然而加工过程中,硅舟两端的硅片与硅舟中间的硅片技术参数差异较大,甚至会导致加工出来的硅片出现不合格...
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