一种晶棒的夹持装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11004710

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三爪卡盘由卡盘体、活动卡爪和卡爪驱动机构组成。三爪卡盘上三个卡爪导向部分的下面,有螺纹与碟形伞齿轮背面的平面螺纹相啮合,当用扳手通过四方孔转动小伞齿轮时,碟形齿轮转动,背面的平面螺纹同时带动三个卡爪向中心靠近或退出,用以夹紧不同直径的工件。目前,公知的晶棒切割是由传统的多刀、多线、单线设备完成或再用内圆切割机完成。将被切晶棒经打磨、施胶、粘板后再切割,因设备切割周期长效率低,带来了设备和能源成本增加、人工成本增加、加工周期变长等问题,并且因内圆切割机的夹持...
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