技术编号:11108106
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及离子注入机电源短路保护及报警功能,涉及离子注入机,属于半导体装备制造领域。背景技术离子注入机是半导体器件制造中重要的掺杂设备,该设备通过引导杂质离子注入半导体晶片,从而改变晶片传导率。但是,由于离子注入机结构和电气线路非常复杂,以及大量电源的使用,短路现象多次发生。短路首先会造成电源的损坏,进而影响束流的稳定性,产品的合格率。严重时可能造成设备损坏。为提高设备的稳定性及产品合格率,对电源短路保护报警电路的应用极为重要。本发明提供了一种电源短路保护报警电路,该电路实现方便,功能齐全,实践...
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