技术编号:11108468
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子气敏器件技术领域,具体涉及到一种Co掺杂的TiO2纳米管阵列薄膜的H2S气敏传感器及其制备方法。背景技术众所周知,硫化氢是一种有毒气体,具有臭鸡蛋气味,会影响人类神经系统,当浓度达到250ppm时就会产生致命危险。因此,研究出能够对硫化氢气体具有快速响应且灵敏度高的气敏传感器至关重要。根据响应原理划分,气敏传感器主要分为半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电化学气敏传感器等,其中半导体气敏传感器的应用范围最为广泛。半导体金属氧化物是主要的硫化氢气体传感器制备材料之一。近年来,I...
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