具有埃(*)厚的表面氧化物层的铜键合丝的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11109874

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具有埃(Å)厚的表面氧化物层的铜键合丝本发明涉及具有仅0.5至<6纳米的氧化铜薄周向表面层的铜丝。键合丝在电子和微电子应用中的使用是公知的现有技术状况。尽管键合丝一开始由金制成,但现今使用更便宜的材料,如铜。尽管铜丝提供非常好的电导率和热导率,但铜丝的键合具有其挑战性。此外,铜丝容易受丝的氧化的影响。存在各种手段来防止铜键合丝发生表面氧化。实例包括用抗氧化贵金属的涂层、玻璃涂层或聚合物涂层涂覆铜丝。用于引线键合(wirebonding)应用的未经涂覆的铜丝通常具有氧化铜表面层,其层厚度通常...
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