技术编号:11110903
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出了硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测仪器,属于微电子机械系统(MEMS)的技术领域。背景技术在如今飞速发展的信息时代,人们对各频率段信号的检测也越来越受到重视,尤其是对于频率较高的毫米波来说,如何高效和简便地检测毫米波信号的各个参数对人们来说也是需要攻克的一项难题。毫米波信号拥有三个重要的参数,分别为频率、相位和功率,这三个参数的测量技术在军事、航天航空和微波通信等领域有着非常广泛的应用,因此在信息技术日益发展的今天,对毫米波频率、相位和功率的高精度检测是关系国家经济发展和科技创新的...
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