一体化晶体谐振器及其加工方法与制造工艺技术资料下载

技术编号:11112311

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本发明涉及晶体谐振器,具体是一种一体化晶体谐振器及其加工方法。背景技术现有的石英晶体谐振器元件,采用水晶或其它压电材料加工成晶片后在两面镀上电极作为振子,用陶瓷或金属壳座做为封装,采用导电胶进行装配和电气连接。现有石英谐振器采用压电晶片、与陶瓷或金属外壳装配,需外购陶瓷基座和封盖材料;石英晶片与陶瓷基座具有不同的膨胀系统,在温度变化时振子产生应力,产生附加的频率偏移;由于原晶片加工时采用机械研磨工艺,对频率较高的谐振器晶片的成品率低,另一方面采用单片加片方法,对于小型化的产品加工效率低且一致性较...
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