技术编号：11126690
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及生产型磁控溅射系统，尤其涉及一种用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构。背景技术随着研制高端微波器件的薄膜混合电路基板尺寸增大、产能增长和性能提升，传统圆筒立式结构批产磁控溅射系统已逐渐满足不了产品的提升需求，急需向平板水平式结构连续生产磁控溅射系统发展。目前行业上连续生产设备基本上都是采用真空机械手将基片从装卸片预真空室传送至工艺腔室，在工艺腔室内再配置一套运动机构实现基片的旋转或扫描运动。真空机械手价格昂贵，基本依靠进口，还需要单独配置一个传送腔室装载机械手，配套的真空管件阀门也...
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