技术编号：11130968
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械加工领域，尤其涉及一种压力传感器芯片及制备方法。背景技术在航空、航天、航海、石油化工、汽车制造等领域，压力传感器有着广泛的应用。压力传感器属于微电子机械压阻式传感器，即通过微电子机械加工技术利用单晶硅的压阻效应制造出的传感器芯片。现有的压力传感器芯片分为差压传感器芯片和绝压传感器芯片，其中，差压传感器芯片用于测量两个压力之间的差值。绝压传感器芯片用于感受绝对压力并将绝对压力值进行输出。如果要实现对差压和绝压的测量，则必须通过一个差压传感器芯片和一个绝压传感器芯片组合检测的方式...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。