技术编号：11142539
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体来说涉及半导体晶片检验，且特定来说涉及在半导体晶片上产生多个空间分离的照明区域。背景技术随着对集成电路的需求持续上涨，对用以检验晶片的经改善的更高效过程的需要持续增长。一种此类检验过程使用泛光照明系统。在泛光照明系统中，未使用的光在其到达晶片之前被阻挡在照明器中的某一点处。此外，一种此类系统可使用光圈来控制入射于晶片上的光的入射角或偏振状态。在一些情形中，对同一晶片运行多个检验，其中每一测试施加不同偏振状态或入射角。多遍次检验增加检验单个晶片所花费的时间量，这减少总体晶片检验吞吐量。因...
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