具有声能反射中间层的微机电声换能器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11143025

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本发明涉及一种用于生成和/或检测可听波长谱中的声波的MEMS声换能器,其具有:载体衬底;构造在载体衬底中的空腔,所述空腔具有至少一个开口;以及多层压电隔膜结构,其跨越空腔的开口并且在其边缘区域中与载体衬底连接,使得其能够为了生成和/或检测声能而相对于载体衬底振动,其中隔膜结构至少局部地在横截面中包括第一和第二压电层。另外,本发明涉及一种用于生成和/或检测可听波长谱中的声波的芯片、尤其是硅芯片,其具有多个彼此阵列式布置和/或可彼此分开激励的MEMS声换能器。背景技术术语MEMS表示微机电系统。ME...
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