技术编号:11143025
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于生成和/或检测可听波长谱中的声波的MEMS声换能器,其具有:载体衬底;构造在载体衬底中的空腔,所述空腔具有至少一个开口;以及多层压电隔膜结构,其跨越空腔的开口并且在其边缘区域中与载体衬底连接,使得其能够为了生成和/或检测声能而相对于载体衬底振动,其中隔膜结构至少局部地在横截面中包括第一和第二压电层。另外,本发明涉及一种用于生成和/或检测可听波长谱中的声波的芯片、尤其是硅芯片,其具有多个彼此阵列式布置和/或可彼此分开激励的MEMS声换能器。背景技术术语MEMS表示微机电系统。ME...
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