一种微小流量压电陶瓷比例阀的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11150778

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本发明涉及一种比例阀,具体是一种微小流量压电陶瓷比例阀。背景技术压力控制与流量调节是航天领域中的重要环节。尤其是在微小卫星和微小推进领域,例如电推进系统和冷气推进系统,所需输出推力为毫牛级或微牛级,因此目前亟需一种体积小、质量轻、分辨率高、输出精度高、响应快、寿命长的阀门来提高微小推进系统的机动能力与寿命。由于材料和结构等原因,传统的调节阀门无法满足上述使用要求。发明内容本发明的目的在于提供一种微小流量压电陶瓷比例阀,以压电陶瓷为驱动部件,即给压电陶瓷施加一定的电压来使压电陶瓷产生微小形变与微小...
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