半导体装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11161884

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本发明涉及半导体装置。背景技术一般,已知有由收纳半导体的半导体单元构成的半导体装置。半导体装置具备用于冷却半导体的冷却结构。例如,公开了在以可从风洞内抽出的方式将半导体单元多级层叠并在风洞上部安装强制风冷用风扇的冷却装置中,设置对应于各半导体单元的抽出而将抽出后的空间封闭的挡板的技术(参照专利文献1)。但是,在沿着垂直方向配置半导体单元,由冷却扇将冷却风从上部排出的半导体装置的情况下,对各级的半导体单元进行冷却的冷却风产生风速差。因而,各半导体单元的冷却效果产生偏差,半导体装置整体的冷却效率劣化...
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