技术编号：11166244
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气液分离装置，特别是涉及一种用于湿法工艺设备的气液分离装置。背景技术湿法工艺设备广泛用在半导体元件的制造。在湿法工艺中湿法工艺设备须采用大量的化学药液，其大多为具有酸性或碱性等腐蚀性的物质。因此，从湿法工艺设备内流出的化学性气液混合物中往往带有具有腐蚀性的化学液体。基于环境保护与安全的考量，必须将湿法工艺设备内的化学性气液混合物加以处理将化学性气液混合物中的化学液体分离后才可排放。请参照图1，其显示一种现有的气液分离装置10的示意图。所述气液分离装置10包含一输入通道P1、一位在底...
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