光模块、电子设备、食物分析装置以及分光照相机的制造方法技术资料下载

技术编号:11170706

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本发明涉及具有波长可变干涉滤波器的光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。背景技术以往,公知有具备如下的波长可变干涉滤波器(例如参照对比文件1):相互相对的一对基板、分别配置在各基板且相互相对的反射膜以及分别配置在各基板且相互相对的电极。在专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器中,在各基板分别配置有相互相对的静电电容监视用电极、相互相对的静电力施加用电极(静电致动器)。在这样的波长可变干涉滤波器中,通过控制电路对静电致动器施加电压,从而使反射膜间的间隙量(间隔...
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