一种LTPS阵列基板及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:11170897

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本发明涉及平板显示技术,特别涉及一种LTPS阵列基板及其制造方法。背景技术低温多晶硅(lowtemperaturepoly-silicon,简称为LTPS)薄膜晶体管液晶显示器有别于传统的非晶硅薄膜晶体管液晶显示器,其电子迁移率可以达到200cm2/V-sec以上,可有效减小薄膜晶体管器件的面积,从而达到提高开口率,并且在增进显示器亮度的同时还可以降低整体的功耗。另外,较高的电子迁移率可以将部分驱动电路集成在玻璃基板上,减少了驱动IC,还可以大幅提升液晶显示面板的可靠度,从而使得面板的制造成本大...
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