技术编号：11189608
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种搬运装置，特别是涉及一种用于搬运光罩的装置。背景技术光罩业内又称光掩模版、掩膜版(英文名称MASK或PHOTOMASK)，在制作IC或液晶面板生产领域中，阵列工序中的光刻工艺的曝光过程需要采用光罩对基板进行曝光，光罩一般存放在存储盒中，使用时，需要将光罩从存储盒中取出放置在掩膜板工作台，才能进行后续的曝光过程。光罩的搬运等作业中，由于光罩尺寸多样且清洁度要求高，作业人员需带上手套在无尘室中进行搬运作业。但是作业人员在用手搬运光罩时，一方面，手套内汗水导致手滑等现象使裸露的光罩本...
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