技术编号：11193385
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微球涂层制备技术领域，具体涉及一种制备球形微球表面脆硬金属涂层的样品盘，以及该样品盘的加工方法。背景技术在科研和生产活动中，特别是惯性约束聚变研究中，需要在微球(直径为毫米或亚毫米级)表面均匀涂镀各种金属涂层，并且对微球表面金属涂层的表面粗糙度有严格的要求。涂镀过程微球需要有样品盘支撑，沉积原子沉积到微球表面的同时也会沉积到样品盘的内表面。当样品盘的内表面的涂层厚度过厚或应力过大时，涂层会从样品盘内表面脱落并产生碎渣，特别是脆硬金属(W、Mo等)涂层，碎渣会沾附到运动微球的表面上，从而...
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