技术编号：11195669
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅基光子学以及半导体制备工艺技术领域，尤其涉及一种微环谐振滤波器及光信号处理系统。背景技术随着集成电路工艺技术的飞速发展，芯片的集成度更高，芯片上晶体管的数目增加，芯片的功能和处理速度明显提升，这极大程度地推进了通信技术的进步。然而，当集成电路芯片上线条宽度为nm量级时，晶体管材料的物理化学性质会发生很大变化，片上金属导线之间的传输延迟，还伴有严重的散热问题，这进一步限制了集成电路的发展。为了突破电互连对芯片集成的束缚，用光互连来代替电互连。用光集成器件构成的集成光路具有低功耗、高...
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