一种基于CCD的非接触式振动传感器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11196877

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本发明涉及一种基于CCD的非接触式振动传感器。背景技术振动是工程技术领域中重要的技术参数,在安防、建筑、工程机械、航空等领域振动参数要求越来高。目前在振动领域传统主要分为接触式振动传感器与非接触式传感器。传统的接触式的振动传感器,如压电式加速度传感器、电磁感应式振动传感器、压敏式振动传感器等,微应变式振动传感器,静电力平衡式振动传感器此类传感器在推广使用中存在很多技术问题,主要是外电磁场对电信号的干扰,致使采集到的电信号失真,探测数据误差大,各个信道信号叠加后发生畸变等。非接触式振动传感器目前主...
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