技术编号：11212463
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及实验器具领域，尤其是涉及一种防堵塞坩埚，该坩埚主要用于OLED有机镀膜工艺中蒸发OLED有机材料。背景技术现在OLED主要的成膜技术为真空热蒸镀，盛放在坩埚中的有机材料在高真空下被加热，依材料特性不同，有些材料会先液化再气化，有些则直接升华。蒸发出的OLED材料在基片上形成薄膜，不同功能的多层薄膜叠加在一起，就形成了OLED发光器件。蒸镀工艺中，各层薄膜厚度的准确性和均匀性直接决定了OLED器件的性能，而且OLED器件对膜厚细微变化都非常敏感，因此，OLED显示技术对真空镀膜设备的准确...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。