一种高精度零件在线检测方法及检测装置与流程技术资料下载

技术编号:11214132

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本发明涉及一种在线检测方法及检测装置,尤其是一种高精度零件在线检测方法及检测装置,属于高精度零件检测技术领域。背景技术电子显微镜(electronmicroscope),简称电镜或电显,是使用电子来展示物件的内部或表面的显微镜。高速的电子的波长比可见光的波长短(波粒二象性),而显微镜的分辨率受其使用的波长的限制,因此电子显微镜的分辨率(约0.2纳米)远高于光学显微镜的分辨率(约200纳米)。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件,这...

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