技术编号:11214246
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种晶圆转向装置,特别是一种将晶圆的摆放方式由平放改变为直放,并将晶圆从不同载具之间转换的晶圆转向装置。背景技术在半导体制程中,需要对晶圆进行多种加工制程。在不同制程中,用来承载晶圆的载具也会不用,并且晶圆的摆放方式也会不同。当晶圆在不同载具和不同的摆放方式之间转换时,会使用许多装置来让晶圆在二个不同载具之间安全得转换。若是需要将平放在平台或流水线机台上的晶圆300放置在直立摆放式的载具上时,如图1所示,会需要先使用机械臂400抬起平放的晶圆300,再将平放的晶圆300放入晶圆暂存盒...
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