技术编号:11227964
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于高精密三维形貌测量领域,更具体地,涉及一种适用于大尺寸表面形貌测量的干涉系统。背景技术表面三维微观形貌测量方法可分为两类:接触式和非接触式。接触式测量方法的代表产品是触针式轮廓仪。当前,国内外广泛应用的触针式粗糙度测量仪器是用一个尖端半径很小的触针压在被测表面上作横移扫描,触针跟随表面微观轮廓的形状作垂直位移,可以说是最大可能地再现了工件的表面状况。然而这种测量方法有很大的缺陷,测量精度较低、容易划伤被测表面,测量速度慢、实现在线检测困难。近年来,国内外对具有快速、非破坏性、可在线测量...
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