技术编号：11229315
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光波导技术领域，尤其涉及一种聚合物光波导芯片的制作方法。背景技术光波导芯片是光互连技术的基本器件，传统的光波导芯片材料主要是二氧化硅、硅、化合物半导体等无机材料。近年来，聚合物材料因其加工工艺简单，价格低廉，易于集成等特点，被广泛应用于光波导芯片的制作。目前有多种聚合物光波导芯片的制作工艺，但这些方法在被广泛使用的同时，也存在着许多的问题。例如反应离子蚀刻法工艺装置复杂，难以控制其制备过程；平板影印法对于制备的光波导芯片尺寸的控制还不尽如人意；光漂白技术对于所使用的聚合物材料的种类有特...
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