技术编号：11230454
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于MEMS谐振式生化传感器技术领域，特别涉及基于CMUTs谐振式生化传感器的敏感功能层制备方法。背景技术基于质量敏感原理的MEMS谐振式生化传感器由于具有体积小、灵敏度高、功耗低、结构简单以及便携式等诸多优点而受到广泛关注。MEMS谐振式生化传感器利用敏感材料吸附被测生化物质以引起质量变化，进而引起谐振元件的谐振频率变化来实现信号转化和生化物质检测。目前国内外常用的MEMS谐振式生化传感器主要分为石英晶体微天平、微悬臂梁谐振器、SAW(SurfaceAcousticWave)声表面波换能...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。