一种可视化气体团簇离子射流的方法及装置与流程技术资料下载

技术编号:11232947

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本发明涉及一种可视化气体团簇离子射流的方法及装置,属于气体团簇离子束领域。背景技术离子注入技术是一门材料表面改性技术,从20世纪60年代至今在国际上已得到蓬勃发展并应用广泛。基本原理是:用一定能量、一定剂量的离子束轰击靶材,由于靶材中的原子或分子会与离子束会发生一系列物理化学反应,导致入射离子能量损失,离子速度在固体材料的抵抗下慢慢降低,最终停留在靶材中。因其会改变材料表面成分、结构,进而优化材料表面性能,甚至获得某些新的优异性能,已经在材料表面改性领域取得卓越成绩,尤其是半导体材料掺杂,金属、...
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