技术编号:11233443
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体激光振荡器,特别涉及一种具备辅助电极的气体激光振荡器。背景技术已知一种具备能够向两个激光气体循环路径输出相位相差180度的高频电力的激光电源的气体激光振荡器(例如日本特开昭60-161687号公报。以下称为“专利文献1”。日本特开2013-247261号公报。以下称为“专利文献2”。)。这种气体激光振荡器具备用于与放电负载(放电管、辅助电极、激光气体)取得阻抗匹配(进行谐振使得放电管电压最大)的包括线圈和电容器的匹配单元。激光电源经由匹配单元而向多个放电管和辅助电极供给高频电力...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。