技术编号:11234069
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于压电驱动技术领域。背景技术近年来,压电驱动技术作为一种新型驱动技术被广泛应用于超精密加工、定位等领域,得到了极大的发展。压电驱动技术是利用压电材料的逆压电效应,将电能转化为机械能的一种驱动技术。压电驱动器具有结构简单,精度高,功率密度大,输出力大,无电磁干扰,易于实现小型化等优点,在航天,机器人,纳米制造等超精密领域得到了极大的应用。两自由度压电驱动器,以单个驱动器实现多个驱动功能,可以有效的缩小驱动器的尺寸,得到了越来越多的关注。现有的两自由度压电驱动器主要是利用压电叠堆驱动的单自由...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。