技术编号：11235711
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电探测技术领域，涉及光电探测器件结构，尤其涉及一种以氟化氮掺杂石墨烯为感光材料，氮掺杂石墨烯/氟化氮掺杂石墨烯/氮掺杂石墨烯(MSM)结构的紫外雪崩光电探测器(APD)及制备方法。背景技术氮掺杂石墨烯是由单层sp2杂化碳原子构成的蜂窝状二维平面晶体薄膜，具有优异的力、热、光、电等性能。与普通金属不同，氮掺杂石墨烯是一种具有透明和柔性的新型二维导电材料。氮掺杂石墨烯和半导体接触可以形成肖特基结，制备工艺简单，在光电探测领域有广泛应用。氟化氮掺杂石墨烯是氮掺杂石墨烯的衍生物，利用氟化氙(...
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