技术编号：11252746
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶体管及其制备方法，尤其是一种铁电场效应晶体管及其制备方法。背景技术电子信息产业对于扩大社会就业、推动经济增长、增强国际竞争力和维护国家安全具有极其重要的作用。存储器，作为信息计算和存储的基石，肩负着各国信息安全的重任，其发展所需的新材料、新结构和新工艺一直都被各半导体强国列入重点发展对象。铁电存储器是最具潜力的新型存储器之一，采用铁电薄膜作为存储介质，通过微电子工艺技术与半导体集成所制成的非挥发性存储器。与传统的存储器如Flash相比，铁电存储器具备高的读写速度、抗疲劳性能突出、...
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